[实用新型]双缓冲型光阻液喷涂系统有效
| 申请号： | 202020487577.0 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN212820700U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 尹安和 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/40 | 分类号： | B05B15/40;B05B9/04;B05B12/14;B01D35/12 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种双缓冲型光阻液喷涂系统，其特征在于，包括：第一储液罐，第一过滤器；第一缓冲器；所述第一过滤器设置于所述第一储液罐与所述第一缓冲器之间；所述第一缓冲器连接有第一回抽管；所述第一回抽管安装有第一回抽泵；第二储液罐；第二过滤器；第二缓冲器；所述第二过滤器设置于所述第二储液罐与所述第二缓冲器之间；所述第二缓冲器连接有第二回抽管；所述第二回抽管安装有第二回抽泵；还包括以下两种结构的其中一种：第一种结构，包括选择机构和总光阻液泵；第二种结构，包括选择机构、第一光阻液泵和第二光阻液泵。所述双缓冲型光阻液喷涂系统能够更好地节省光阻液，并且保证光阻液供应不停机。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 型光阻液 喷涂 系统 | ||
【主权项】：
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