[实用新型]一种新型载片盘及镀膜装置有效
| 申请号： | 202020489442.8 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN212451614U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 方斌;陈被被;汪怀海;叶铎;李君杰;黄照明;蔡家豪;张家豪 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种新型载片盘和镀膜装置，载片盘装载于镀膜装置上，用于放置晶片，包括载盘环和用于固定晶片的夹爪，所述夹爪周向分布在载盘环上，其特征在于：还包括镀膜遮盖机构，所述镀膜遮盖机构在镀膜时覆盖晶片和载盘环之间的空隙，防止镀膜材料穿过所述空隙覆盖于晶片的非镀膜面。本实用新型在现有的载盘环上增设镀膜遮盖机构，在镀膜时，通过旋转件的驱动将遮盖件由靠近载盘环一侧的位置水平移动至晶片与载盘环之间的空隙上方，从而覆盖空隙，防止镀膜材料穿过空隙镀至晶片的非镀膜面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 载片盘 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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