[实用新型]一种扩散炉有效
| 申请号： | 202020490166.7 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN212426244U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 时宝;魏青竹;倪志春;鲁科;张树德;钱洪强;连维飞 | 申请（专利权）人： | 苏州腾晖光伏技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/10;H01L31/18;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 李萍 |
| 地址： | 215542 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改进的扩散炉，包括具有腔体的炉体，所述炉体具有相对的头部和尾部，所述头部设置有炉门，所述尾部上开设与所述腔体连通的通气口；所述扩散炉还包括气管，所述炉体的尾部上开设有供所述气管插入所述腔体的安装孔，所述气管插设于所述炉体中并伸至所述尾部外的第一端及位于所述腔体内的第二端，所述第二端伸至邻近所述炉门的位置；所述扩散炉还包括用于向所述腔体通入气体的进气管道及用于抽出所述腔体内的尾气的真空泵；所述进气管道和所述气管的第一端连接，所述真空泵和所述通气口连接。该扩散炉可以减少偏磷酸累积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 | ||
【主权项】：
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