[实用新型]一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置

摘要

本实用新型的目的在于公开一种适用于太阳能电池片镀膜设备的气体分流装置，它包括气体分流管和通气固定管，所述通气固定管的一端垂直固定在所述气体分流管上且与所述气体分流管相连通，所述通气固定管的另一端与UM腔体的充气孔互相连接，所述气体分流管的两端封闭，在所述气体分流管斜上45度方向上设置有一排通气孔，且所述通气孔的方向朝向腔壁；与现有技术相比，能有效解决5*6石墨框在MAIA背面镀膜设备上运行时的UM腔掉片问题，降低生产过程的碎片以及返工，为生产企业节约成本，实现本实用新型的目的。