[实用新型]一种LDI光源发生装置有效
| 申请号： | 202020509834.6 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN211979417U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 陈志特;王华;吴中海;冯明瑞 | 申请（专利权）人： | 东莞科视自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LDI光源发生装置，包括发光源、椭球体聚光镜和光纤，所述发光源的中心位于所述椭球体聚光镜的第一焦点上；所述椭球体聚光镜的内表面为多层级的反射镜结构；所述光纤的入射端口设置在所述椭球体聚光镜的第二焦点上。本实用新型中的LDI光源发生装置，椭球体聚光镜可将发光源在第一焦点处的发出的光线聚集到第二焦点上，产生光束集中、发散角小、光功率密度高、含有复合波长并且高能量的光源，满足LDI曝光工序中对光源的要求，且制作成本低，结构简单，稳定性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ldi 光源 发生 装置 | ||
【主权项】：
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