[实用新型]用于等离子室的边缘环有效
| 申请号： | 202020516038.5 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN212230390U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·C·凯洛格;亚当·克里斯多夫·梅斯;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;约翰·霍兰德;陈志刚;菲力克斯·莱布·科扎克维奇;亚历山大·马丘什金 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种用于等离子室的边缘环，所述边缘环被配置为沿衬底支撑件的外围放置。所述边缘环的顶部包括：内部台阶区域；倾斜区域；外部弯曲区域；具有顶部环形表面的中间顶部区域。所述中间顶部区域在所述外部弯曲区域和所述倾斜区域之间延伸。所述倾斜区域具有环状的成角度的表面并且设置在所述中间顶部区域和所述内部台阶区域之间。所述边缘环的底部包括底部环形表面，所述底部环形表面具有从所述底部环形表面形成到所述边缘环中的多个螺钉插孔件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子 边缘 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020516038.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种网络营销信息发布展示平台
- 下一篇：一种组装式塑料托盘
