[实用新型]硅片花篮检测装置有效
| 申请号： | 202020517646.8 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN212431959U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 谢陈栋;陆敏星;李斌全 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;G01B5/02;G01B5/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 214029 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种硅片花篮检测装置。该硅片花篮检测装置用于检测待检测硅片花篮的尺寸，该硅片花篮检测装置包括至少两组检测组件、至少两组调节块和至少两组支撑杆；至少两组支撑杆沿待检测硅片花篮的第一方向设置，至少两组检测组件与至少两组支撑杆活动连接，调节块设置在检测组件中，用于调整检测组件相对的两个侧边之间的距离，以检测待检测硅片花篮的第一方向的尺寸，两个侧边上均设置有齿纹，齿纹用于检测待检测硅片花篮上的挡齿。在本实用新型实施例中，对于第一方向的不同尺寸的待检测硅片花篮，均可以通过本实用新型实施例提供的硅片花篮检测装置进行检测，降低了对待检测硅片花篮进行检测时的检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 花篮 检测 装置 | ||
【主权项】：
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