[实用新型]一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置有效
| 申请号： | 202020517683.9 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN212025443U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡金明;卢建臣;张辉;蔡晓明 | 申请（专利权）人： | 东莞市道睿石墨烯研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450 | 代理人： | 肖冬 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种有效屏蔽向外热辐射的真空蒸发源加热装置。其包括：盛装装置，其上端开口且内部设有安装孔，安装孔内设置有坩埚；旋转导入器，其一端设有回转杆；四电极法兰，与旋转导入器连接，且中部设有穿孔，穿孔外围设有多个连接孔，并通过连接孔连接有两个电极柱和两个热偶电极；所述两个电极柱的上端分别对应连接有电极接线块，两个电极接线块之间连接有加热丝；加热丝的中部伸入盛装装置的内部并用于对坩埚进行加热；两个热电偶电极的端部伸入盛装装置并固定盛装装置；热偶丝从盛装装置内部穿出，接在热偶电极柱上；所述回转杆穿过盛装装置并连接有用于遮挡坩埚的挡片。本实用新型结构简单，测量精度高，且可有效减少热量向外辐射。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有效 屏蔽 向外 热辐射 真空 蒸发 加热 装置 | ||
【主权项】：
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