[实用新型]一种硅片插片入篮机构

摘要

本实用新型提供了一种硅片插片入篮机构，用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒，包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件；所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上，所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接，所述片篮盒内设有多个置片凹槽；所述片篮盒一侧开有硅片入口，远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件。本实用新型所述的片篮盒固定在夹紧组件上，夹紧组件在垂直升降模块上移动，垂直升降模块实现了片篮盒精准移动，所述缓冲组件安装在片篮盒上，减少硅片入篮时的冲击力，减少硅片损伤。