[实用新型]一种晶圆涂胶机有效
| 申请号： | 202020531153.X | 申请日： | 2020-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN212596775U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 黄雷;谷建华 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05B15/55;B08B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215334 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆涂胶机，包括滴胶喷嘴，滴胶喷嘴的下方设置有外罩，外罩的内侧底部设置有升降器，升降器的顶端设置有驱动环，驱动环的顶端设置有与其相配合的内罩，内罩的内部且位于滴胶喷嘴的下方设置有晶圆，晶圆的底端设置有底座，底座与内罩从左至右依次设置有干燥喷嘴与清洗喷嘴，干燥喷嘴远离内罩的一侧与清洗喷嘴远离内罩的一侧分别均设置有活动机构；其中，活动机构包括与干燥喷嘴连接的支撑柱，支撑柱的底端设置有支撑座，支撑柱的顶部套设有圆柱齿轮，支撑柱的两侧且位于圆柱齿轮的下方设置有角度传感器。有益效果：通过设置本实用新型，进而提高清洗与干燥的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 | ||
【主权项】：
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