[实用新型]一种用于氮化镓晶体生长高压釜的移动装置有效
| 申请号： | 202020535252.5 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN212077202U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;林岳明;高明哲 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B7/10 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 方仕杰 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于氮化镓晶体生长高压釜的移动装置，包括底板和底座，底板上固定安装有固定板、第一限位板、第二限位板和第三限位板，底板的顶部设置有滑轨，底座的底部固定安装有万向轮，底座的顶部固定连接有高压釜，高压釜的两侧连接有连接块，连接块上连接有滑套，滑套上连接有转动杆，第一限位板上安装有电机，电机的输出轴与转动轴固定连接，转动轴上连接有第一齿轮，第一齿轮的两侧啮合连接有第二齿轮，第二齿轮与转动杆固定连接。本实用新型通过电机带动高压釜、底座和万向轮在滑轨方向上移动，将高压釜沿着滑轨移动至不同的场地区域，进行装料、充氨、生长和清洗等工艺，结构简单，操作方便，节省了人力，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氮化 晶体生长 高压 移动 装置 | ||
【主权项】：
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