[实用新型]二氧化碳去离子水发泡机有效
| 申请号： | 202020539794.X | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN212017420U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 戚孝峰;周鹏程 | 申请（专利权）人： | 争丰半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/04 | 分类号： | B01F3/04;B01F5/06;C02F1/68 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 俞光明 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种二氧化碳去离子水发泡机，其包括机体，机体上设置有控制面板，机体上连通有去离子水进水管和二氧化碳进气管，机体内设置有气液混合筒，去离子水进水管和二氧化碳进气管与气液混合筒相连通，气液混合筒连通有去离子水出水管，二氧化碳进气管连通有连接管，连接管延伸至气液混合筒内部，连接管上开设有多个出气孔。本实用新型中的二氧化碳气体从连接管中进入到气液混合筒内部，连接管上的多个出气孔能够均匀的将二氧化碳气体分散开，二氧化碳气体能够均匀的进入到去离子水中，从而能够充分的与去离子水进行混合，使二氧化碳气体与去离子水充分的混合溶解，在对芯片进行清洗处理的过程中能够起到较好的清洗处理的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化碳 离子水 发泡 | ||
【主权项】：
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