[实用新型]超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置有效
申请号: | 202020542670.7 | 申请日: | 2020-04-13 |
公开(公告)号: | CN211978773U | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 聂延伟;宋婉潇;杨国牛;薛翔;夏启飞;刘荣辉 | 申请(专利权)人: | 西安西谷微电子有限责任公司 |
主分类号: | G01N29/26 | 分类号: | G01N29/26;G01N29/28 |
代理公司: | 北京东灵通专利代理事务所(普通合伙) 61242 | 代理人: | 李思琼 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新区锦业路*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了超声波扫描显微镜检测系统器件定位装置,包括检测平台和耦合介质槽,耦合介质槽内设置与检测平台边缘位置相应的固定点,使检测平台对应固定点放置于耦合介质槽内时,检测平台的中心点与耦合介质槽的中心点重合;检测平台上围绕中心点的位置固定待测塑封电子元器件。本实用新型的检测系统器件定位装置能够将器件准确定位,提高检测速率。 | ||
搜索关键词: | 超声波 扫描 显微镜 检测 系统 器件 定位 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安西谷微电子有限责任公司,未经西安西谷微电子有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202020542670.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。