[实用新型]一种平行度检测仪及其调节控制器有效
申请号: | 202020542842.0 | 申请日: | 2020-04-14 |
公开(公告)号: | CN211477039U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 冯伟;戈小龙 | 申请(专利权)人: | 绵阳诺达佳工业控制技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26;G02B7/198;G05D3/10 |
代理公司: | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人: | 阮涛 |
地址: | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种平行度检测仪,包括:干涉仪,用于工件平行度检测时发射光束;置物台,用于放置标准工件;检测单元,用于放置待测工件,并使待测工件进行二维运动,包括横向运动机构,横向运动机构设有纵向运动机构,纵向运动机构设有调平组件,调平组件正上方设有反射组件,待测工件置于调平组件;控制柜,与干涉仪和检测单元连接,用于控制干涉仪与检测单元,使置于检测单元的待测工件进行二维运动,控制干涉仪的启闭状态;置物台设于干涉仪和检测单元之间。本实用新型方便待测工件的表面检测,方便进行载物台平整度的调整,方便进行反射镜的高度调整,提高了平行度的检测效率以及平行度的检测效果,具有较强的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 平行 检测 及其 调节 控制器 | ||
【主权项】:
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