[实用新型]一种CMP抛光机压头

摘要

本实用新型公开了一种CMP抛光机压头，包括气囊，所述气囊的表面安装有气囊支撑板，所述气囊的表面设置有外圈，所述外圈的表面活动连接有基座，所述基座的表面安装有加压支撑板，所述外圈的表面安装有外圈弹性胶膜，所述外圈弹性胶膜的表面安装有内圈，所述内圈的表面安装有保持环支撑。本实用新型通过设置气囊、气囊支撑板、保持环、保持环支撑、外圈、内圈弹性胶膜、内圈、外圈弹性胶膜、基座、弹性胶膜压圈、定位销、气管接头、限位销、滑动螺栓、加压支撑板和中心压头的配合使用，解决了现有的CMP抛光机压头都不能将保持环和气囊加压设计在一起进行联动操作，都是选择分开安装，降低了生产加工的效率问题。