[实用新型]一种反射式无指示光栅光学测量装置有效
| 申请号： | 202020558211.8 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN211783311U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 甘天才 | 申请（专利权）人： | 广东光栅数显技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 广东腾锐律师事务所 44473 | 代理人： | 陈培华;莫锡斌 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种反射式无指示光栅光学测量装置，包括光源、反射主光栅和接收器，光源、接收器设置在反射主光栅的同一侧，光源产生入射光线照射到反射主光栅上形成反射光线，接收器设置在反射光线的光路上反射主光栅上至少有3N+1根平行间隔排列的矩形光栅刻线，接收器上设有用于光电信号转换的硅光晶片，硅光晶片上设有4M+1块平行间隔排列的矩形光刻栅片；光栅刻线的宽度、相邻两光栅刻线的栅距、光刻栅片的宽度均为W，相邻两光刻栅片的栅距为W/2，N、M均为自然数。本实用新型的反射式无指示光栅光学测量装置具有测量准确性好、测量精度高和产品一致性好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 指示 光栅 光学 测量 装置 | ||
【主权项】：
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