[实用新型]一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台有效
| 申请号： | 202020558463.0 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN212335276U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 魏守冲 | 申请（专利权）人： | 磐石创新（江苏）电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京东方昭阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11599 | 代理人： | 王云涛 |
| 地址： | 221011 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种可自动夹紧的真空镀膜旋转基片台，包括夹紧法兰，样品台，水冷法兰，密封法兰，升降法兰，电机支架，主动同步带轮，从动同步带轮，弹簧，电机，磁流体，第一导杆，真空室顶板，第二导杆，升降轴组件；夹紧法兰的两端分别固定设置在相互平行的第一导杆、第二导杆的底部；第一导杆和第二导杆自上而下依次设置有升降法兰、密封法兰和水冷法兰；升降轴组件能够抵压或远离升降法兰，在抵压升降法兰时能够使得夹紧法兰与水冷法兰分离；在远离升降法兰时能够在弹簧的作用下使得夹紧法兰带动样品台上升并与水冷法兰相贴合。其具有结构设计合理，可实现基片快速自动夹紧，并且与水冷基片台完全贴合以达到更好的水冷效果等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 夹紧 真空镀膜 旋转 基片台 | ||
【主权项】：
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