[实用新型]一种晶圆测试台有效
| 申请号： | 202020558757.3 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN212083498U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李云华;尹伟 | 申请（专利权）人： | 江苏矽智半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆测试台，包括底板，底板的顶端依次设置有显微镜组件、晶圆放置台及六轴机械臂，且晶圆放置台位于底板的中心位置，显微镜组件位于晶圆放置台的一侧，六轴机械臂位于底板的一端，且显微镜组件与六轴机械臂相垂直，显微镜组件的镜头位于晶圆放置台的上方，六轴机械臂远离底板的一端设置有夹持机构，夹持机构底部夹持有探针，晶圆放置台包括设置在底板顶端的固定板，固定板的上方设置有安装板，固定板的顶端与安装板的底端分别对应设置有若干U形固定架，U形固定架内侧设置有转动框，位于同一竖直方向的两个转动框通过转动杆连接。有益效果：提高晶圆测试的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 | ||
【主权项】：
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