[实用新型]一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头有效
| 申请号： | 202020560952.X | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN211163459U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 孟松林;赵德文;李长坤;倪孟骐 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，所述化学机械抛光保持环包括环形部，所述环形部包括金属部和非金属部，所述金属部设置于非金属部的上侧并通过粘接层结合形成为层叠结构；其中，所述金属部的顶面和外侧面涂覆有防护层，以防止金属离子及其他污染物对晶圆制程影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 保持 承载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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