[实用新型]一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源有效
| 申请号： | 202020579195.0 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN213018989U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王艳军;张博;张文战 | 申请（专利权）人： | 河南百合特种光学研究院有限公司 |
| 主分类号： | F21K9/69 | 分类号： | F21K9/69;F21V5/04;F21V19/00;G03F7/20;F21Y115/10 |
| 代理公司： | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 41139 | 代理人： | 杨杰 |
| 地址： | 453000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机用的一体封装的LED阵列光源，包括LED光源组件，通过将LED阵列芯片、聚光透镜、异形光学积分器和准直透镜做一体化紧密胶合，具备聚光、匀光和准直功能，能够提高LED阵列光源的光功率利用率，减小了光路调整的难度，能提供更高的生产效率。同时提出了一种以一体封装的LED阵列光源作为曝光光源的光路系统，增加了二次匀光，保证曝光台面较高的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 一体 封装 led 阵列 光源 | ||
【主权项】：
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