[实用新型]一种具有多个子反应器结构的金属有机化学气相沉淀设备

摘要

本实用新型公开了一种具有多个子反应器结构的金属有机化学气相沉淀设备，包括主设备、子设备、控制键面板和防护机构，所述主设备和子设备前表面均设置有控制键面板，所述控制键面板可拆卸式安装在主设备或者子设备侧面且可对控制键面板防护，所述防护机构包括透明板、右固定板、左固定板和限位组件，所述右固定板和左固定板对称安装在主设备侧面，且通过螺钉固定，所述右固定板和左固定板前端伸出主设备露在外侧，且端部设置有矩形缺口；本实用新型通过设置有防护机构，既不影响控制键面板的正常使用，又可在不使用时起到防护作用，避免旁人误碰控制键造成沉淀设备工作出现问题，减少影响化学气相沉淀设备工作的因素，且机构方便安装和拆卸。