[实用新型]制作纳米双疏材料的装置有效
申请号: | 202020583415.7 | 申请日: | 2020-04-17 |
公开(公告)号: | CN211999910U | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 许建民;李晓峰;伊彬;辛金菲 | 申请(专利权)人: | 天津日津科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/505;B82Y40/00 |
代理公司: | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人: | 刘影 |
地址: | 300000 天津市东丽区华明工*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种制作纳米双疏材料的装置,属于纳米材料领域,包括控制器、二路混气系统、生成器、RF射频电源、真空泵和温控系统,二路混气系统、RF射频电源、真空泵和温控系统均信号连接至控制器,生成器信号连接至温控系统,且生成器均管路连接至真空泵和二路混气系统,二路混气系统上端设置生成器和RF射频电源,且生成器外围套接RF射频电源。本实用新型所述的制作纳米双疏材料的装置设置磁力旋转装置,在实验过程中通过电机带动磁力旋转装置使待试验物料在生成室内旋转,可以有效的促使物料受热、薄膜分布均匀,减少薄膜气泡,有效提高实验结果。 | ||
搜索关键词: | 制作 纳米 材料 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的