[实用新型]一种多功能显影喷淋机构有效
申请号: | 202020590037.5 | 申请日: | 2020-04-20 |
公开(公告)号: | CN211741835U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 周涛;黎增祺;李真明 | 申请(专利权)人: | 南通美精微电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;B05B15/68;B05B14/00;B05B13/02;B05B13/04 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董成 |
地址: | 226001 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多功能显影喷淋机构,涉及显影喷淋装置技术领域,包括底板,所述底板的上表面固定连接有固定台,所述固定台的内部开设有操作腔,所述固定台的上表面固定连接有喷淋槽,所述喷淋槽内壁的底面固定连接有支撑筒,所述支撑筒的上表面抵接有喷淋台,所述喷淋槽的上表面固定连接有连接板,所述连接板的上表面固定连接有操作板,所述操作板的正面开设有第一限位槽和第二限位槽。本实用新型,通过上述结构之间的相互配合,达到了将显影液均匀的喷洒在基片的表面,保证了显影反应的均匀性,且对喷淋产生的废液进行收集的效果,解决了了传统显影液喷淋装置容易造成药液喷洒不均的现象发生的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 多功能 显影 喷淋 机构 | ||
【主权项】:
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