[实用新型]具有反光识别区的光掩模夹具有效
| 申请号： | 202020592068.4 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN211698589U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 王国荃 | 申请（专利权）人： | 上海凸版光掩模有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有反光识别区的光掩模夹具，用于光掩模工作台，所述光掩模工作台上方具有反光识别探测器，所述光掩模夹具包括：夹具框体；光掩模窗口，位于所述夹具框体中；以及反光识别区，位于所述夹具框体上，并与所述反光识别探测器对准设置。本实用新型在夹具框体上设置具有高反光率的反光识别区，使得不再需要整个光掩模夹具的材质都具有高反射率，可以使用价格较低的金属替代原来昂贵的高反射金属材质，仅需在反光识别区设置高反射材料即可，从而大大降低了光掩模夹具的材料成本及制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 反光 识别 光掩模 夹具 | ||
【主权项】：
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