[实用新型]晶棒接着后接着力测量设备有效
| 申请号： | 202020595467.6 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN212134460U | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 赵延祥;刘波;程博;历莉;马玉怀 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种晶棒接着后接着力测量设备，包括支撑装置、夹持装置、测量装置、牵引绳，支撑装置包括工作台、立柱、横梁、定位件，夹持装置设置在工作台的上方，测量装置设置在支撑装置的一侧，牵引绳的一端与测量装置固定连接，牵引绳的另一端与夹持装置的顶部固定连接；本实用新型通过工作台上的定位件可以使接着后的晶棒下部粘接的工件板卡入到定位件中，从而将接着后的晶棒进行定位，防止晶棒在接着力测量时上下移动，依照晶棒接着后的形状制作夹持装置，通过夹持装置将晶棒牢固夹持锁死，然后利用测量装置牵拉牵引绳，使牵引绳拉动夹持装置，从而对接着后的晶棒进行接着力的测量，在使用的过程中，不仅操作方便，而且检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 接着 测量 设备 | ||
【主权项】：
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