[实用新型]化学沉积气体扩散板

摘要

本实用新型公开了一种化学沉积气体扩散板，包括呈圆形板状结构的本体，所述本体上分布有上下贯通的扩散孔，且所述扩散孔沿本体的周向均匀分布。在不改变现有上部电极大体结构前提下，通过扩散板，可使进入的沉积气体在扩散板上方以平流姿态扩散后，再以较为稳定均匀的流量和流速通过上部电极后沉积到产品表面，大大提高化学沉积均匀度等，保证产品气相沉积薄膜质量，即改善产品良品率。