[实用新型]一种靶材帮定控温装置有效
| 申请号： | 202020614865.8 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN211786811U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李兵 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/22 | 分类号： | G05D23/22;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件以及与发热件电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪、温控器、温控表、调功器，温控表电连接于温控记录仪的信号接收口，温控记录仪电连接于温控器的信号接收口，温控器电连接于调功器的信号接收口，调功器于发热件电连接；通过在帮定平台上均布多组发热件以及温控装置，对帮定平台上的温度进行实时监控和加热，使得帮定平台不同区域之间的温度相近，提高帮定效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材帮定控温 装置 | ||
【主权项】：
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