[实用新型]特种工件真空镀膜控制系统有效
| 申请号： | 202020614914.8 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN213086105U | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李星;钟玉盛;徐从高 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 石仁 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种特种工件真空镀膜控制系统，至少包括：第二控制单元；翻板阀启闭驱动单元，驱动翻板阀向上或向下翻转；传送驱动单元，驱动传送机构运转，以传送工件；第一泵组驱动单元，驱动第一泵组启动；第一插板阀启闭驱动单元，驱动第一插板阀的开启或关闭；第二泵组驱动单元，驱动第二泵组启动；离子源启动单元，控制第一离子源室和第二离子源室启动离子源；中频电源启动单元，控制第一镀膜工艺室和第二镀膜工艺室启动中频电源；第二插板阀启闭驱动单元，驱动第二插板阀的开启或关闭。本实用新型实施例，通过真空镀膜控制系统，至少可按镀膜工序的要求实现对真空镀膜设备的全自动化控制，有利于实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 特种 工件 真空镀膜 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东生波尔光电技术有限公司，未经广东生波尔光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020614914.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于混凝土生产的余热再利用装置
- 下一篇：特种工件镀膜控制系统
- 同类专利
- 专利分类
