[实用新型]一种高光学稳定性的超窄带滤光片

摘要

本实用新型公开一种高光学稳定性的超窄带滤光片，包括基底及设置在基底上的超窄带滤光膜。基底为FEP光学塑料，超窄带滤光膜为修正的三腔结构。滤光片中心波长λ0＝530nm，膜层数为60层，总几何厚度为4771nm。膜系选用高折射率TiO2膜和低折射率SiO2膜，所有膜层均釆用离子辅助淀积，离子能量为350eV。FEP塑料的热线膨胀系数达140×10‑6/度，并选择热线膨胀系数小、折射率温度系数正负匹配的膜料，以消除环境温度引起的波长漂移。这种超窄带滤光片可广泛应用于光学、光电和激光系统及仪器作为稳定的信号滤波器。