[实用新型]一种用于双面显影的工装有效
申请号: | 202020618951.6 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN211628006U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 智云涛;表军;韩建栋 | 申请(专利权)人: | 石家庄海科电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11487 | 代理人: | 汪斌 |
地址: | 050000 河北省石家庄市鹿*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于双面显影的工装,包括底板,所述底板为长方体结构,其中,所述底板的四个顶角均设置支撑板,所述支撑板为阶梯状结构,所述支撑板包括支撑台和限位台,所述支撑台位于下层,所述限位台位于上层。本实用新型提供的一种用于双面显影的工装通过设置在底板四个顶点的支撑板对需要处理的基片进行支撑,使得中部需要进行显影的部位处于悬空状态,平放在烧杯或平盘内,只用较少的显影液,就可以实现比较理想的双面显影,且不会因为片子晃动而造成背面划伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 双面 显影 工装 | ||
【主权项】:
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