[实用新型]一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟有效
申请号: | 202020619717.5 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN213925009U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 上海弘竣新能源材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟,要解决的是现有石墨舟在承载太阳能硅片时存在的问题。本产品包括舟片本体,所述舟片本体上的不同位置加工有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸。本产品设计合理,在舟片本体上设置有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸,只需要调整卡点装配的位置就能实现各种太阳能硅片的相互切换,从而大大降低了改造成本;孔位上安装有堵头,需要生产某种规格的太阳能硅片时,用堵头将其他的孔位堵上,可以保证太阳能硅片在舟片本体内固定的位置和角度。 | ||
搜索关键词: | 一种 兼容 不同 规格 尺寸 硅片 石墨 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的