[实用新型]一种用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置。搅动装置包括：混气罐，设置于该混气罐内部的搅动组件；其中，混气罐的一端面设置有进气孔，另一端面与化学气相沉积(CVD)炉体连通；搅动组件包括轴体和沿轴体的周向均匀设置的至少三个叶片，轴体的两端一一对应的固设于混气罐的两端，且叶片与轴体的垂直面具有预设夹角。本实用新型实施例解决了现有制造碳刹车盘的工艺中，由于通入CVD炉的碳源气体难以快速混合均匀，而导致CVD炉中的碳源气体不能充分反应，从而造成反应速率下降，以及原料气体反应不充分而造成浪费的问题。