[实用新型]一种晶元背面光反射率测量装置有效
| 申请号： | 202020630052.8 | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN213600580U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 姜华 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型的目的在于提供一种晶元背面光反射率测量装置，用于监测晶元切割前晶元背面反射能量；包括测量单元，放置台，支架，总控单元；一测量单元，包括中空壳体，设置在所述中空壳体内的积分球，设置在所述积分球外表面的激光器和光电探测器；一放置台，通过一支架固定连接在所述测量单元正下方；所述放置台两侧边缘设置有卡槽；所述放置台中部上表面设置有限位块一总控单元，包括计算机芯片和控制电路；本实用新型的有益效果为：方便对晶元背面的光反射率进行监测，有效确保晶元切割的实际能量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背面 反射率 测量 装置 | ||
【主权项】：
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