[实用新型]一种带有凸起结构的化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 202020630116.4 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN211992444U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 朱文献 | 申请（专利权）人： | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/26 | 分类号： | B24B37/26 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 梁炎芳;谭雪婷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有凸起结构的化学机械抛光垫，包括：抛光垫基板和均匀分布设置在所述抛光垫基板上的若干凸起，相邻的两所述凸起间隔设置形成有沟槽；每一所述凸起的顶面呈内凹球面或外凸球面设置；所述内凹球面或所述外凸球面的半径小于所述凸起的高度。本实用新型技术方案利用凸起顶部的内凹球面或者外凸球面以增加抛光垫有效面积，提高材料去除效率；凸起之间的沟槽利于抛光液均匀分配和流动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 凸起 结构 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
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