[实用新型]一种电阻加热化学气相沉积炉

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体为一种电阻加热化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体为顶面开口式结构，所述炉体的顶面紧密焊接有螺纹环，所述炉体内设有进气管，所述进气管的顶端穿过所述炉体的外壁并延伸至外界；所述炉体的下方设有废气排出机构；该电阻加热化学气相沉积炉通过设有的废气排出机构，即风机在炉体反应结束后，抽走炉体内的废气，废气经连接管和箱体进入至弯管内，并经弯管进入至过滤内，在过滤管内过滤体的过滤作用下，废气中的颗粒物和部分有害物质被活性炭颗粒吸附，该设计便于对反应产生的废气进行净化，避免废气直接排放污染空气。