[实用新型]一种基片自动定位装置有效
| 申请号： | 202020641865.7 | 申请日： | 2020-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN212093056U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区长城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基片自动定位装置，真空吸盘上表面用于铺设基片，真空吸盘左右两侧对称设有驱动机构，驱动机构上装配有定位部；定位部包括远离真空吸盘一侧固定装配于驱动机构活动部的支撑杆，支撑杆靠近真空吸盘一侧固定装配有定位叉；在旋涂前，使用本实用新型的定位装置定位圆心，不接触基片表面，避免了污染和损坏基片上的纳米结构，提高了定位精度和稳定性，有利于胶层厚度的一致性和均匀性；基片的圆心与真空吸盘的中心同轴，能够令真空吸附力分布更加均匀，避免基片在高速旋转时上下颠簸，避免“飞片”现象的发生；定位装置可以定位多种尺寸的基片；本实用新型实现智能化生产，实现基片快速对中定位，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 定位 装置 | ||
【主权项】：
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