[实用新型]晶圆片气相沉积用盖板

摘要

本实用新型提供了一种晶圆片气相沉积用盖板，晶圆片气相沉积用盖板包括：盖板本体、定位孔、支撑脚、透气孔和安装孔；至少两个定位孔贯穿盖板本体，至少两个定位孔均匀设置在盖板本体上，且晶圆片嵌入定位孔内；至少四个支撑脚分别与至少两个定位孔相连接，支撑脚向定位孔中心延伸，且支撑脚与晶圆片相贴合；至少两个透气孔贯穿盖板本体，且至少两个透气孔与至少两个定位孔间隔设置；至少两个安装孔贯穿盖板本体，且至少两个安装孔同时位于盖板本体的中心线上；其中，支撑脚的横截面为梯形，支撑脚的宽度由靠近盖板本体的一端向远离盖板本体的一端减小，且支撑脚与盖板本体为一体式结构。