[实用新型]一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体有效
| 申请号： | 202020670384.9 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN212378499U | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王俊朝;寇宗和 | 申请（专利权）人： | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D11/02 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 彭光荣 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体，包括炉丝骨架、内保温层、外保温层和不锈钢外壳，所述炉丝骨架由电炉丝和支撑骨架组成，所述电炉丝设有多段，每段电炉丝之间互相绝缘，所述电炉丝为环形粗电炉丝，所述内保温层套接在炉丝骨架外侧，所述外保温层套接在内保温层外侧，所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧。将炉体的电炉丝分成多块，并在每段电炉丝上设置有引出接头使炉体能够在采用粗电炉丝的同时不用再设置变压器，保证了炉体使用寿命和使用效率的同时避免了大量功率的消耗，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 cvd 设备 粗炉丝无 变压器 | ||
【主权项】：
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