[实用新型]一种微电子工业洁净厂房有效
申请号: | 202020693839.9 | 申请日: | 2020-04-29 |
公开(公告)号: | CN212108920U | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 何红星 | 申请(专利权)人: | 无锡毅弘科技有限公司 |
主分类号: | F24F11/89 | 分类号: | F24F11/89;F24F11/30;F24F11/63;F24F11/54;F24F11/56;F24F110/10;F24F110/20;F24F110/64 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华;贾传美 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种微电子工业洁净厂房,包括控制中心、环境监测装置、加热加湿装置、空气净化装置和生产线,所述控制中心分别与环境监测装置、加热加湿装置和空气净化装置电性连接,所述环境监测装置与控制中心双向电性连接,所述环境监测装置包括监测控制处理器、温度传感器、湿度传感器、颗粒物传感器和警报装置,所述监测控制处理器的输入端分别与温度传感器、湿度传感器颗粒物传感器的输出端电性连接,所述警报装置的输入端与控制中心的输出端电性连接。本实用新型通过控制中心、环境监测装置、加热加湿装置和空气净化装置的配合,实现了对洁净厂房的环境的监测和净化。 | ||
搜索关键词: | 一种 微电子 工业 洁净 厂房 | ||
【主权项】:
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