[实用新型]一种晶粒拾取手臂水平校正装置有效

专利信息
申请号: 202020716084.X 申请日: 2020-05-06
公开(公告)号: CN212265872U 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 张德青;田周 申请(专利权)人: 合肥新汇成微电子有限公司
主分类号: B25J15/06 分类号: B25J15/06;B25J19/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型提供一种晶粒拾取手臂水平校正装置。所述晶粒拾取手臂水平校正装置,包括:拾取手臂本体和胡椒罐;校正组件,所述校正组件设置于所述拾取手臂本体的底部。通过设置校正组件,作为专门校正拾取手臂的工具,在校正的时候通过与不锈钢板以及感压纸片配合使用,构成一套完整的校正结构,通过观察凹槽在感压纸片压合出印痕的平均程度来判断角度差的实际参数,从而对晶粒拾取手臂进行准确的调节,一次调节到位,不需要多次盲目的调节,大大提高了调节效率,使得调节操作更加方便,通过设置该校正装置很好的解决了因晶粒拾取手臂缺乏专门实用的的工具进行直观的校正,导致不能有效的解决吸嘴与晶圆之间存在角度差的问题。
搜索关键词: 一种 晶粒 拾取 手臂 水平 校正 装置
【主权项】:
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