[实用新型]一种碳化硅晶体打磨装置有效
申请号: | 202020721200.7 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN211966998U | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 么靓;刘亚坤;张平;邹宇 | 申请(专利权)人: | 江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B47/22 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张博 |
地址: | 221000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种碳化硅晶体打磨装置,包括底座、支撑杆、水平杆、固定杆、打磨轮和夹持装置,打磨轮转动的设置在底座上,支撑杆固定在底座上,水平杆移动的设置在支撑杆上,固定杆设置在水平杆上,夹持装置设置在固定杆上,夹持装置上夹持住的碳化硅晶体朝向打磨轮,水平杆在支撑杆上移动时带动碳化硅晶体朝向或远离打磨轮移动。使用时,夹持装置夹持住碳化硅晶体,水平杆在支撑杆上移动时带动碳化硅晶体朝向打磨轮移动,准确将碳化硅晶体调节到打磨位置,提高打磨精度和良率。通过采用水平杆和支撑杆的配合,形成机械臂操作,替代人工操作,提高工作效率和生产良率,提高安全性,并且可实现多块晶体同时打磨,降低生产能耗,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 晶体 打磨 装置 | ||
【主权项】:
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