[实用新型]一种排废系统有效

专利信息
申请号: 202020734247.7 申请日: 2020-05-07
公开(公告)号: CN212161762U 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 王贵梅;王盼;朱少杰 申请(专利权)人: 晶澳太阳能有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 北京市万慧达律师事务所 11111 代理人: 顾友
地址: 055550 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开一种排废系统,该排废系统至少包括第一排废管道、第二排废管道及主排废管道,第一排废管道与第二排废管道并联设置;第一排废管道包括第一进水口及第一出水口,第一进水口与酸槽连通,第一出水口与主排废管道连通,第一排废管道包括一水封管;第二排废管道包括第二进水口及第二出水口,第二进水口与刻蚀槽连通,第二出水口与主排废管道连通;该排废系统将刻蚀槽和酸槽的排废管道进行合并流入同一个主排废管道,从而减少管道结构,节约安装空间;通过在与酸槽连接的第一排废管道中设置水封管形成水封,有效避免刻蚀槽中溢出的具有强氧化性的酸雾进入酸槽之后氧化酸洗后的硅片表面,造成色差硅片的情况,保证电池片质量。
搜索关键词: 一种 系统
【主权项】:
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