[实用新型]一种大视场振镜外同轴视觉成像装置

摘要

本实用新型公开了一种大视场振镜外同轴视觉成像装置，装置包括用于放置待加工工件的加工平台，设置于加工件上方的照明光源、场镜、振镜系统、分光镜座、摄像镜头、CCD模组、激光器，所述照明光源、摄像镜头、CCD模组均安装在分光镜座上，所述分光镜座内设置有分光镜，所述照明光源用于照射待加工工件表面，工件表面反射的成像系统光束经分光镜入射到摄像镜头，通过CCD模组接收，激光器发射的激光光束依次镜振镜系统、场镜、分光镜照射至待加工工件表面。本实用新型大幅提升了视觉定位幅面，图像采集不受振镜系统尺寸影响，克服了激光加工系统中振镜温漂造成的定位偏差。