[实用新型]一种单晶炉有效
| 申请号： | 202020766292.0 | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN212316281U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 刘佳奇 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶炉，所述单晶炉包括炉体，所述炉体内设置有坩埚支撑组件，所述坩埚支撑组件上部设置有坩埚，所述炉体的内壁和所述坩埚的外周之间设置有加热器，所述炉体的顶部设有籽晶提拉机构，所述单晶炉还包括：设置于所述炉体外围的磁场发生器，用于产生覆盖所述炉体的磁场；温度检测单元，用于检测所述坩埚内的温度；磁场检测单元，用于检测所述炉体内的磁场强度。根据本实用新型实施例的单晶炉，通过向炉体内施加磁场，可以阻滞坩埚内流体的热对流，提高晶体性能和均匀性；并且通过增设温度检测单元和磁场检测单元对炉内加工参数进行实时检测，可以有效辅助生产过程中各工序的条件判断，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 | ||
【主权项】：
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