[实用新型]一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器

摘要

一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，属于中红外光探测技术领域。本实用新型包括包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化硅层、石墨烯微纳阵列和介质层；所述石墨烯微纳阵列和介质层位于二氧化硅层中间位置；所述二氧化硅层和介质层表面覆盖有石墨烯层；所述石墨烯层两侧分别设置有电极一和电极二。使用该结构制造的红外探测器，光电转换效率大大提升，制备方法简单，与现有硅工艺相兼容，克服传统以碲镉汞、锑化铟等红外探测器持续低温制冷、能耗高和信号弱等问题，运行性价比大幅提高。