[实用新型]一种硅片存放装置有效
| 申请号： | 202020774034.7 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN212330687U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 刘园;袁祥龙;武卫;刘建伟;祝斌;刘姣龙;裴坤羽;孙晨光;王彦君;王聚安;由佰玲;常雪岩;杨春雪;谢艳;刘秒;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片存放装置，具有水槽，在所述水槽内设有用于承载并控制片篮的控制单元，所述控制单元带动所述片篮在所述水槽内升降或倾斜。本实用新型存放装置，尤其是适用于抛光过程中临时存放因设备异常暂停而导致无法继续流转的硅片，结构简单，易于控制，不仅可保护硅片的完整性，而且可防止硅片暴漏在空气中而报废，保证硅片流转的连续性，提升抛光机的稼动率，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 存放 装置 | ||
【主权项】：
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