[实用新型]一种用于LDI曝光的光源装置有效
| 申请号： | 202020777045.0 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN211956122U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 陈志特;王华;吴中海;冯明瑞 | 申请（专利权）人： | 东莞科视自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于LDI曝光的光源装置，包括聚光镜筒、半球状壳体和传输光纤，所述聚光镜筒设置有若干个，若干个所述聚光镜筒均设置在所述半球状壳体的表面上，所述聚光镜筒与所述半球状壳体连通，所述传输光纤的一端设置在所述半球状壳体的球心上；所述聚光镜筒包括透镜组和发光源，所述透镜组固定在所述半球状壳体上，所述发光源设置在所述半球状壳体的一侧；其中，所述透镜组出射口的轴线经过所述半球状壳体的球心。本实用新型可产生光束集中、发散角小、复合波长和高能量的光束，解决目前半导体激光器某些波段功率不足和价格昂贵的问题，且其结构简单，能源消耗低，制造成本低，性能稳定性较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ldi 曝光 光源 装置 | ||
【主权项】：
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