[实用新型]用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置有效
| 申请号： | 202020779607.5 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN212231792U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张宜东;蔡珑元;尹志尧 | 申请（专利权）人： | 中微惠创科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置，其中，阴极组件包括：阴极腔，包括阴极冷却入口、阴极放置槽和安装孔，安装孔设于阴极放置槽的外围，所述阴极冷却入口用于向所述阴极腔内输送冷却介质，所述阴极放置槽用于放置阴极替换部；第一固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，用于固定所述阴极替换部。所述阴极组件的阴极能够可拆卸，有利于降低阴极组件的更换成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 发生 装置 阴极 组件 及其 | ||
【主权项】：
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