[实用新型]一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶有效
| 申请号： | 202020783003.8 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN212610873U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 朱建明 | 申请（专利权）人： | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州蓝晟专利代理事务所(普通合伙) 44452 | 代理人： | 杨勇;吴华丽 |
| 地址： | 526060 广东省肇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶，包括引弧装置、阳极装置和旋转式电弧靶材装置；旋转式电弧靶材装置包括环形弧靶材和靶材旋转驱动机构，环形弧靶材设于靶材旋转驱动机构的输出端，引弧装置和阳极装置分别设于环形弧靶材相对的两面外侧。本适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶由于采用了旋转式的电弧靶材装置可有效延长靶材的连续使用寿命，可较好地应用于连续镀膜、长时间工作的生产线上，同时，由于环形弧靶材在镀膜过程中是处于不断旋转的状态，因此溅射弧光不会固守在同一靶材的同一固定范围内，在旋转过程中对环形弧靶材进行不断冷却，可达到较好的冷却效果，较大程度减少多弧液粒的产生，从而改善镀膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 连续 镀膜 生产 寿命 多弧靶 | ||
【主权项】：
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