[实用新型]一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备有效
| 申请号： | 202020789059.4 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN212056746U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 可建;郑少宾;江蓉;田明雨 | 申请（专利权）人： | 深圳融科半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/06 | 分类号： | F17D1/06;F17D3/01;B01D1/30 |
| 代理公司： | 重庆百润洪知识产权代理有限公司 50219 | 代理人： | 沈锋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体及光伏技术领域，提供了一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，包括设备柜体，所述设备柜体内固定安装有输送组件，输送组件包括进液管、进气管、蒸发器和缓冲罐，进液管上通过四通连接件连接第一进液管、第二进液管和第三进液管，第一进液管与缓冲罐连接，第二进液管与蒸发器的进液端连接，进气管通过三通连接件连接第一进气管和第二进气管，第一进气管与缓冲罐连接，第二进气管通过三通连接件连接第三进气管和第四进气管，第三进气管与蒸发器的进气端连接，进液管上安装有用于控制进液管开启或关闭的第一控制组件。本实用新型的一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，避免发生TMA原液供应不稳定的情况，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缓存 甲基 蒸发 输送 设备 | ||
【主权项】：
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